手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
晶圓薄膜應力測試儀
主要特點：
l 快速、非接觸式測量；
l 樣品臺可通用于3至8寸晶圓，128L型號適用于12寸晶圓，128G 型號適用于470 X 370mm樣品，另可按要求訂做；
l 利雙激光自動轉換技術：如某一波長激光在樣本反射度不足，系統會自動使用另一波長激光進行掃瞄，滿足不同材料的應用；
l 全自動平臺，可以進行2D及3D掃瞄（可選)；
l 可加入更多功能滿足研發的需求：電介質厚度測量，光致發光激振光譜分析（III-V族的缺陷研究）；
l 500 及 900°C高溫型號可選；
l 樣品上有圖案亦適用；
l 薄膜應力范圍: 1 MPa — 1.4 GPa。
晶圓薄膜應力測試儀
室溫系統 | FSM 128 | 大樣品直徑200mm |
FSM 128L | 大樣品直徑300mm | |
FSM 128G | 大樣品550×650mm | |
變溫系 | FSM 500TC | 電阻加熱工作臺：溫度可控，高500℃ |
FSM 900TC-vac | RTP型腔室：溫度可控，高900℃（可選1100℃）；真空達到 1E-6 Torr |
武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業研發，以力學試驗機儀器為主，同時銷售各種、中低端分析儀器?，F有員工60多人，公司成功開發了PCI放大采集卡和中文版試驗軟件，并采用全數字化，操作簡捷，*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等標準、國家標準、行業標準的要求，公司亦通過了ISO9001質量體系認證和國家計量體系認證，榮獲了“武漢市第九界消費者滿意單位”的稱號。
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心