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平面度誤差測量的常用方法有如下幾種：
1、平晶干涉法：
用光學平晶的工作面體現理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用于測量小平面，如量規的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。
平面是由直線組成的，因此直線度測量中直尺法、光學準直法、光學自準直法、重力法等也適用于測量平面度誤差。測量平面度時，先測出若干截面的直線度，再把各測點的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計算法進行數據處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板涂色法測量平面誤差的。
2、打表測量法：
打表測量法是將被測零件和測微計放在標準平板上，以標準平板作為測量基準面，用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。打表測量法按評定基準面分為三點法和對角線法：三點法是用被測實際表面上相距遠的三點所決定的理想平面作為評定基準面，實測時先將被測實際表面上相距遠的三點調整到與標準平板等高；對角線法實測時先將實際表面上的四個角點按對角線調整到兩兩等高。然后用測微計進行測量，測微計在整個實際表面上測得的大變動量即為該實際表面的平面度誤差。
3、液平面法：
液平面法是用液平面作為測量基準面，液平面由 “連通罐”內的液面構成，然后用傳感器進行測量。此法主要用于測量大平面的平面度誤差。
4、光束平面法：
光束平面法是采用準值望遠鏡和瞄準靶鏡進行測量，選擇實際表面上相距遠的三個點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。
5、激光平面度測量儀：
激光平面度測量儀用于測量大型平面的平面度誤差平面度測量平面度測量現場。
6、利用數據采集儀連接百分表測量平面度誤差的方法
測量儀器：偏擺儀、百分表、數據采集儀。
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