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三坐標測量機是一種用于機械工程領域的計量儀器，三坐標測量儀可以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統（如光柵尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器”。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。
氣源要求:
1.未及時清理油跡或水跡，空氣中的灰塵顆粒落在導軌面上，與油跡或水跡混合，依附在導軌面上，將導致三坐標測量機無法正常運行，嚴重的可能燒毀三坐標測量機的伺服電機及其控制柜。
2.如未及時更換濾芯，壓縮空氣中水及油體積質量超標，三坐標測量機導軌面將產生油跡或水跡，影響三坐標測量機的精度和正常使用。
3.未及時更換濾芯，壓縮空氣中的水、油體積質量超標，大量的油水混合物將通過電磁閥，帶走其內部的潤滑脂，造成電磁閥動作失靈，使其無法打開或關閉，將引起三坐標測量機的Z軸失去保護，有可能撞壞三坐標測量機的測頭部分。
4.未及時更換濾芯，微塵含量或者顆粒大小超標，進入電磁閥，造成電磁閥動作失靈，即無法打開或關閉，可能引起空氣軸承堵塞，導致其無法浮起，劃傷導軌或空氣軸承，測量機將無法正常使用。
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