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測量顯微鏡是光學計量儀器之一種，是指配有瞄準顯微鏡和坐標工作臺的用于二維坐標尺寸測量的光學計量儀器。測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精密零件的測試，是一種多用途的小型精密測量儀器。
測量顯微鏡的安裝使用：
1、使用環境檢查：
應對周圍環境的安全性進行檢查，電源、電壓、LED光源、接地線等是否正確、牢固，應符和要求。
2、主要部件運動性能檢查：
測量顯微鏡工作臺、縱、橫滑板導軌、測微器、顯微鏡臂架導軌升降，測角度盤轉動等部件，經目力觀察和手動試驗，必須確認結構安裝可靠，位置準確，運轉性能應舒適完好，無松動阻滯和急跳現象存在。
3、測角目鏡的檢查：
①測量顯微鏡測角目鏡零位的檢查;
②測量顯微鏡測角目鏡十字線交點與其迥轉中心重合性的檢查。
測量顯微鏡的操作方法：
1、將被測試樣放在測量工作臺上，盡量放在玻璃中心位置。
2、轉動測量顯微鏡調焦手輪，至視線清晰為止，用目視判斷Z薄點，旋轉測量工作臺并依靠縱橫向的調節，把Z薄點方向原始基準調至與十字線相重合，記錄測試標志線所對應的刻度值X1。
3、調節橫向手柄，測量工作臺沿X線軸向移動，記錄另一側的讀數X2，X1 與X2之差即為測量值。
4、旋轉測量工作臺，依次測出各點讀數。
5、測量直徑時，可用移動X、Y軸方向分別讀取數值。
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