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X熒光光譜儀是根據X射線熒光光譜分析方法配置的多通道X射線熒光光譜儀，能夠分析固體或粉狀樣品中各種元素的成分含量，具有靈敏度高、精密度好、性能穩定、分析速度快等特點，是一種中型、經濟 、高性能的波長色散X射線光譜儀。
X熒光光譜儀的維護和保養：
1 注意事項和嚴禁事項
1.1 注意事項
1.1.1 觀察室溫是否為18～28℃，濕度是否為75%或更低。
1.1.2 注意外部、內部冷卻循環水的參數。
1.1.3 注意各制樣設備是否運轉正常，樣品制作出來后是否穩定分析。
1.2 嚴禁事項
1.2.1 嚴禁儀器操作軟件PCMXF中的緊急停止按鈕“STOP”
1.2.2 嚴禁樣盒不旋緊進樣，造成樣品卡位，嚴重者造成試樣室、真空室損壞。
1.2.3 嚴禁環境條件及儀器參數不合格時進行分析。
X熒光光譜儀的技術參數：
1.X射線發生器： X射線管型號：Varian OEG-83J；靶：銠(薄窗口型)
2.高壓變壓器： 容量：較大50KV、100mA；極性：正極；冷卻：自來水
3.功率控制器： PCX-16。控制方法：次極檢測與初級控制微機控制；容量：較大50KV、100mA；管電壓設定：20～50KV，增量5KV；管電流設定：5～100mA，增量5mA；保護功能：過載、過電壓、過電流與冷卻水異常(溫度、壓力、流量)
4.冷卻水供應單元： CWC-16(內置)。型號：蒸餾水循環系統CWC-16；熱交換：通過雙管與外部冷卻水進行熱交換；外部冷卻水：水溫18℃±4℃，流量6L/min；水壓：3.0kgf/cm2；內部循環水：給水壓力3～4 kgf/cm2；流量5L/min；安全機構：帶有離子交換樹脂柱與電阻計，當水溫升高，流量下降與水的導電性升高時，X射線關閉，以及在DPX-16操作面板上發出警報
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