3D輪廓測量儀是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
3D輪廓測量儀可以加裝激光、探針、轉(zhuǎn)臺等傳感器,實現(xiàn)一個坐標(biāo)系下的多元傳感的綜合應(yīng)用,使用冷光源系統(tǒng),可以避免容易變形的工件在測量時因為熱變形所產(chǎn)生的誤差,并避免了由于碰觸引起的變形。3D輪廓測量儀可用于高亮度LED、半導(dǎo)體器件、汽車零部件、觸摸屏和精密加工零件及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。為用戶提供快速、準(zhǔn)確的三維非接觸式測量。
3D輪廓測量儀使用的注意事項:
1、測量結(jié)束,退出系統(tǒng),關(guān)閉電腦,切斷電源;
2、測量完畢后用棉花拈航空汽油清洗工作臺及夾具,并涂油防銹;
3、儀器配件要注意防銹;
4、要定期(具體周期視環(huán)境定)清潔氣浮導(dǎo)軌,以保證導(dǎo)軌的精度。
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