原子熒光光譜儀用來激發原子使其產生原子熒光。光源分連續光源和銳線光源。連續光源一般采用高壓氙燈，功率可高達數百瓦。這種燈測定的靈敏度較低，光譜干擾較大，但是采用一個燈即可激發出各元素的熒光。常用的銳線光源為脈沖供電的高強度空心陰極燈、無電極放電燈及70年代中期提出的可控溫度梯度原子光譜燈。采用線光源時，測定某種元素需要配備該元素的光譜燈。由公式 ⑵ 可以看出，原子熒光的強度If與激發光源輻射強度I0成比例，因此原子熒光光度計都采用新的高強度光源提高激發光源輻射強度，I0提高1~2個數量級，進一步降低儀器的檢出限。
 

　　原子熒光光譜儀利用原子熒光譜線的波長和強度進行物質的定性與定量分析的方法。原子蒸氣吸收特征波長的輻射之后，原子激發到高能級，激發態原子接著以輻射方式去活化，由高能級躍遷到較低能級的過程中所發射的光稱為原子熒光。當激發光源停止照射之后，發射熒光的過程隨即停止。　原子熒光可分為 3類：即共振熒光、非共振熒光和敏化熒光，其中以共振原子熒光較強，在分析中應用較廣。共振熒光是所發射的熒光和吸收的輻射波長相同。只有當基態是單一態，不存在中間能級，才能產生共振熒光。非共振熒光是激發態原子發射的熒光波長和吸收的輻射波長不相同。非共振熒光又可分為直躍線熒光、階躍線熒光和反斯托克斯熒光。直躍線熒光是激發態原子由高能級躍遷到高于基態的亞穩能級所產生的熒光。階躍線熒光是激發態原子先以非輻射方式去活化損失部分能量，回到較低的激發態，再以輻射方式去活化躍遷到基態所發射的熒光。直躍線和階躍線熒光的波長都是比吸收輻射的波長要長。反斯托克斯熒光的特點是熒光波長比吸收光輻射的波長要短。敏化原子熒光是激發態原子通過碰撞將激發能轉移給另一個原子使其激發，后者再以輻射方式去活化而發射的熒光。