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超純水系統是指系統從原水至超純水完整產生的生產系統。一般超純水系統是經由多重過濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，納米率，離子吸附過濾所產生的超純水。
超純水系統原理：
自來水先進入預處理模組，經過預處理，去除顆粒物質和異色異味物質等，防止RO膜被有機污垢和氯氧化物損壞。
之后水通過增壓泵進入反滲透模組，反滲透模塊運用的是艾科浦獲得DP-RO二級反滲透技術。反滲透模組有兩個出水口，純水輸出至純水箱臨時儲存。反滲透膜截留的離子、顆粒、有機分子和細菌通過排水管輸送到排水口。
取水時，輸送泵啟動，將純水從純水箱抽吸到紫外燈中。紫外燈以185nm和254nm發光，用于降低水中有機分子和微生物的含量。然后將純水輸送到純化柱模組，去除水中離子。超濾膜和取水點過濾器是一個膜過濾器，用于濾除規格大于過濾器孔徑的所有粒子、細菌和細菌內毒素。通過定期再循環產水，以增強超純水機的產水質量。
同時，系統還有原水、預純化水、超純水監控點，監控這三種水的水質，為耗材更換，設備運行狀況提供科學的數據分析。
系統中預處理模組、反滲透模組、純化柱模組、紫外燈、超濾膜和取水點過濾器均為消耗裝置，需要在系統維護期間定期更換。
工藝流程：
1、預處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點；
2、預處理-一級反滲透-二級反滲透（正電荷反滲膜）-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點；
3、預處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點；
4、預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
水質符合美國ASTM標準，電子部超純水水質標準（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級）
超純水系統反滲透法超純水制造技術：
滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑通過反滲透膜而分離出來，方向與滲透方向相反，可使用大于滲透壓的反滲透法進行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。
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