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原子熒光光譜儀分為色散型和非色散型兩類。兩類儀器的結構基本相似，差別在于非色散儀器不用單色器。色散型儀器由輻射光源、單色器、原子化器、檢測器、顯示和記錄裝置組成，非色散儀器沒有單色器。熒光儀與原子吸收儀相似，但光源與檢測部件不在一條直線上，而是90°直角，而避免激發光源發射的輻射對原子熒光檢測信號的影響。
原子熒光光譜儀使用時的注意事項：
(1)火焰原子化器的維護火焰原子化器的維護與原子吸收分光光度計相同，要保證霧室的廢液暢通無阻，才能點火。點火的順序是先開啟助燃氣后開啟燃氣，熄滅的順序是先關閉燃氣，待火熄滅后再關閉助燃氣。如果發生“回火”事故，應迅速關閉燃氣，然后關閉助燃氣。
(2)石墨爐原子化器的維護 石墨爐原子化器的維護，主要為通冷卻水進行冷卻，避免把石墨爐原子化器燒壞。
(3)空心陰極燈的維護 不要用硬物撞擊空心陰極燈，換燈時，要穿戴紗手套；熱的燈管要防止被溶液濺射；一旦石英窗口被污染，要用脫脂棉蘸無水乙醇擦拭干凈。
(4)供氣管道的維護與檢漏 供氣管道要經常檢查、檢漏。如果發現管道老化發硬變黑，要及時更新；如果有漏氣現象應采取堵漏措施。
(5)燃燒器的維護 如果發現燃燒器的火焰分叉，應馬上熄滅火焰，采用刀片等適當工具把縫口的積鹽等污染物除去，或把燃燒器取下用水沖洗排除污物。
(6)霧化器的金屬毛細管的維護與檢修 當霧化器的金屬毛細管被堵塞時，可用洗耳球從出樣口吹氣，排除堵塞物，或用較軟的金屬細絲進行疏通。
(7)ICP原子化器的維護 ICP原子化器的各種炬管多為玻璃材料制成，容易破碎和堵塞，所以要小心使用，不要碰擊硬物或摔碎。如果被樣品殘留物堵塞，可以用酸洗或溶劑清洗。
(8)光電倍增管檢測器的維護 光電倍增管怕強光照射，強光照射會使其發生疲勞效應，使其性能變差。因此，要使其置于暗處，此外還要防塵、防潮。要常常用軟毛刷、洗耳球去吹刷積塵。一旦發現性能下降，應進行檢查，從易至難，逐一查找。
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