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微流控芯片的微結(jié)構(gòu)制作及鍵合封接完成后，需對(duì)微結(jié)構(gòu)的形狀、尺寸和表面粗糙度進(jìn)行檢測(cè)。目前常用的儀器有：表面輪廓儀和可標(biāo)定的光學(xué)顯微鏡，可以給出微結(jié)構(gòu)的表面輪廓和截面形狀，并由此推算出微結(jié)構(gòu)的深度和寬度尺寸;掃描電子顯微鏡(SEM)可以給出微結(jié)構(gòu)的立體形貌和截面形狀，并可推算出尺寸參數(shù);使用原子力顯微鏡(AFM)，可對(duì)微結(jié)構(gòu)的表面粗糙度進(jìn)行觀測(cè)。
微流控芯片的分離物檢測(cè)方法
分離物的高靈敏度檢測(cè)對(duì)于微流控芯片有著重要意義。目前，微流控芯片的檢測(cè)方法大體上可以分為3類：光學(xué)檢測(cè)、電化學(xué)檢測(cè)及質(zhì)譜學(xué)檢測(cè)。
紫外吸收檢測(cè)法是一種常規(guī)光學(xué)檢測(cè)法，相應(yīng)的檢測(cè)器已經(jīng)趨于成熟，但由于芯片的通道小、靈敏度不高，因此該方法已經(jīng)不能夠滿足對(duì)低濃度和極微量樣品分析的要求。激光誘導(dǎo)熒光檢測(cè)是所有熒光檢測(cè)中靈敏度*高的一種方法。多數(shù)情況下其檢測(cè)下限可達(dá)10E-10—10E-12mol/L，所以該方法得到了廣泛的應(yīng)用。
電化學(xué)檢測(cè)有安培法、電導(dǎo)法和電位法3種基本模式，其中安培法是應(yīng)用普遍的一種方法。其基本原理是：測(cè)量化合物在電極表面受到氧化或還原反應(yīng)時(shí)，會(huì)失去或得到電子，產(chǎn)生與分析物濃度成正比的電極電流，通過測(cè)量微通道中的電流即可得到溶液濃度的變化情況。電化學(xué)檢測(cè)的靈敏度可以與熒光檢測(cè)相媲美，同時(shí)，因?yàn)槲㈦姌O可以加工到芯片上，因此更適合于微芯片的檢測(cè)。
質(zhì)譜檢測(cè)的原理是根據(jù)分子質(zhì)荷比的不同而達(dá)到檢測(cè)的目的。其優(yōu)點(diǎn)是能夠提供分子空間結(jié)構(gòu)信息，因此在生物大分子(如蛋白質(zhì))的結(jié)構(gòu)研究方面具有獨(dú)到之處。但因?yàn)橘|(zhì)譜檢測(cè)系統(tǒng)本身比芯片還要大，所以也很難實(shí)現(xiàn)整個(gè)系統(tǒng)的微型化。單一的檢測(cè)方法將很難完成全部檢測(cè)任務(wù)，因此應(yīng)對(duì)多種檢測(cè)方法的聯(lián)合使用及新的檢測(cè)方法進(jìn)行研究。
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