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三維形貌輪廓儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現(xiàn)全自動化。
儀器利用白光點光源，光線經(jīng)過透鏡后產(chǎn)生色差，不同波長的光分開后入射到被測樣品上。位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統(tǒng)用來接收經(jīng)被測點漫反射后的光。根據(jù)準共聚焦原理，探測器系統(tǒng)只能接收到被測物體上單點反射回來的特定波長的光，從而得到這個點距離透鏡的垂直距離。
然后通過點掃描的方式可得到一條線上的坐標，即X-Z坐標后以S路徑獲得物體每個點的三維X-Y-Z坐標。后將采集的三維坐標數(shù)據(jù)交給儀器自帶的三維處理軟件進行各種表面參數(shù)的分析。
三維形貌輪廓儀使用的注意事項：
1、測量結(jié)束，退出系統(tǒng)，關(guān)閉電腦，切斷電源；
2、測量完畢后用棉花拈汽油清洗工作臺及夾具，并涂油防銹；
3、儀器配件要注意防銹；
4、要定期（具體周期視環(huán)境定）清潔氣浮導軌，以保證導軌的精度。
三維形貌輪廓儀可測量各種機械零件的素線輪廓形狀參數(shù)，角度處理(坐標角度，與Y坐標的夾角，兩直線夾角)、圓處理(圓弧半徑，圓心到圓心距離，圓心到直線的距離，交點到圓心的距離，直線到切點的距離)、輪廓度、水平距離等形狀參數(shù)。
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