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半導體材料測量設備JZM-D30室溫探針臺的技術指標

來源:北京錦正茂科技有限公司   2021年05月20日 13:59  


概況:

錦正茂JZM-D30室溫探針臺的諸多設計都是﹡用的,探針臺的配置主要是根據用戶的需求進行選配及設計。例如,要求的磁場型號,電源型號,磁場值,樣品臺的尺寸等,除此之外,該探針臺和我司自主研發的高精度雙極性恒流電源搭配使用,可以提高磁場的高穩定性。因此,該類型的探針臺主要依據客戶的使用情況進行設計優化。

技術參數:

①磁場型號:EM3加長版

②電源型號:JP10-40,優于50ppm

③磁場值:>1000Gs@60mm間距

④磁場分辨率:優于0.1Gs

⑤三維探針座:高精度三維探針座4個

⑥載物臺直徑:30mm

⑦Y軸位移-15mm至200mm,精度優于10微米

⑧X軸位移±15mm,精度優于10微米
⑨Z軸行程10mm,精度優于20微米
⑩R軸旋轉:360度粗調,±5°范圍內精調,精調精度10'
?顯微鏡:體視顯微鏡,變倍范圍優于10-150倍。

?機械加工精度優于10微米。

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霍爾探頭技術參數


Lmm

Tmm

Wmm

Amm

有源區直徑

探頭方向

頻率范圍

滿量程

工作溫區

HALL-100

100

2.5

5.0

3.0

0.3

橫向

DC

3T

-40~125



使用說明





1.將霍爾探頭接入高斯計后面板的DB15接口;DC9V電源適配器插入高斯計后面板的供電接口;若使用計算機遠程通信,還要用串口線將高斯計后面板的DB9接口連接到計算機串口。

2.DC9V電源適配器插入220VAC插座,高斯計即可上電工作,此時高斯計前面板紅色指示燈閃爍,液晶屏顯示磁場數據。

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3.探頭校零:將霍爾探頭遠離磁場,觀察高斯計表頭顯示是否為零;若顯示不為零,需要將霍爾探頭進行校零;將探頭遠離磁場或放入零高斯腔中(推薦,此時將探頭前端平行伸入零高斯腔內,不要碰著腔壁),然后在計算機上打開串口調試工具,輸入“zero”指令給高斯計,即可探頭校零。

4.探頭方向識別:霍爾探頭T-300為橫向探頭,磁場敏感元件位于探頭的前端約3mm位置;霍爾探頭手柄上有“錦正茂”標記的那面對著磁場N極時,高斯計顯示磁場值為正值;反之為負值。

5.儀器設置完成,進入正常測量狀態。

3.14.jpg



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