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純化水設備包含了預處理工藝、反滲透純水工藝、超純化處理工藝、精細處理工藝四大方面，經過上面介紹的多級過濾單元、高性能樹脂的離子置換、超濾過濾系統、紫外燈殺菌等多個單元處理之后，超純水設備產水的電阻率很高，不中雜質不僅全部去掉，同時細菌生物等也同時去掉。
純化水設備的表面粗糙度需符合純化水系統生產、清洗和滅菌時的實際要求。不銹鋼管道、管件及其他原材料內表面粗糙度的處理，對系統來說有著十分重要的影響。通過拋光處理，可以大大減少系統內表面的接觸面積，這將有助于降低純化水系統輸送的殘留量和雜質附著的風險；有助于純化水系統內表面更加光滑、易于清洗；有助于預防微生物的沉降與繁殖，為系統微生物限度的滿足提供可靠的保證。
純化水設備反滲透機組的保養：
1、定時定期檢查檢驗電導率儀及各壓力表，使之正常準確地工作。
2、定時定期檢查電器控制系統，確保設備運行正常。
3、定時定期檢查高壓泵及RO前置泵，按保養手冊及時更換潤滑油。
4、定時定期記錄RO裝置各種運行參數。建議：每兩小時記錄RO裝置各運行參數一次。
5、隨著運轉時間增長，膜表面將附著沉淀物，影響透水量，就要定期清洗RO元件。若發現組件中每個膜元件的壓力大于0.1Mpa要立即進行清洗（清洗由清洗系統完成）。按不同污染狀況，有針對性的處理措施。
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