“真空”是指在給定空間內,低于標準大氣壓的氣體狀態。處于真空狀態下氣體稀薄程度的量叫真空度。用壓力(剩余壓力)值來表示,以mmHg為單位。利用機械物理方法對容器進行抽氣以獲得真空的機器,叫真空泵。按其工作原理可分為容積式,射流式和其他類型真空泵。
真空泵的主要性能指標:
1.極限真空,真空泵在給定條件下,經充分抽氣后,抽氣量為零時所能達到的穩定的低壓力。
2.抽氣速率,對于給定氣體,在一定溫度壓力下,單位時間內從泵吸氣口平面處抽出的氣體容積
3.抽氣量,對于給定氣體,在一定溫度下,單位時間內從泵吸入口平面處抽出的氣體量。
4.大反壓力,需要前級真空的真空泵,在的負荷下運轉時,其反壓力升高到某一定值時,則泵失去正常的抽氣能力,該反壓力稱大反壓力。
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