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熒光光譜儀根據各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。近年來，X熒光光譜分析在各行業應用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域，特別是在RoHS檢測領域應用得醉多也醉廣泛。大多數分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點。
對于一些物質來說，產生熒光的能力是非常弱，以至一些普通探測器都無法響應。為了使熒光光譜儀能夠接收到更多的熒光，往往采用以下幾個措施：
1、提高激發光的強度：可以用激光器來代替鹵素燈源，激光器的功率密度往往比鹵素燈高的多。使用該方法，根據激光器功率的不同，熒光有幾倍到幾個數量級的提高。但是該方法受實驗室條件限制，并不是任何時候都是可行的，同時，紫外波段的激光器價格比較昂貴。
2、提高探測器的光收集效率：可以在其它幾個方向上放一些反射鏡，把這些方向上的熒光反射到探測器上。使用該方法，可以使收集到的熒光增加幾倍到十幾倍。
3、改進光譜儀：熒光分析基本上都是通過光譜儀、分光光度計來實現，進入光譜儀、分光光度計的光通量受限于這些儀器的狹縫尺寸。我們可以增大狹縫尺寸，來提高進光量。但是，狹縫尺寸的增大，是以犧牲波長分辨率為代價，因此不能無限制的增加狹縫尺寸。提高光譜儀、分光光度計里面的各種反射鏡、光柵對光的反射效率，也是增加探測器接受更多熒光的有效方法之一。
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