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實際生產中微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術性能的評價具有直接的影響，而且表面三維評定參數由于能更全面、更真實地反映零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視，因此便攜式三維形貌儀的測量就越顯重要。通過對三維形貌的測量可以比較全面地評定表面質量的優劣，進而確認加工方法的好壞及設計要求的合理性，這樣就可以反過來通過指導加工、優化加工工藝以加工出高質量的表面，確保零件使用功能的實現。
便攜式三維形貌儀適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線段剖面，三維線路、混合和固定繪圖，用于階越高度測量的地區差異繪圖。
便攜式三維形貌儀的幾大校準方法：
1、三維形貌校準：這一校準都和形貌測量的“高度”結果相關，所以稱為三維校準。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標定；以及使用標準臺階塊對臺階高度測試精度校準。
2、二維光強校準：這一校準和成像視場范圍內的“光強”信號相關。設備有一些功能，可以增強用戶對樣品表面觀察效果。比如在某觀測模式下，可以自動去除視場中黑白條紋，更清楚地觀測表面紋理；真彩模式可以復現表面彩色信息。
由于以上功能相關標定都只涉及“光強”，不涉及到形貌高度，所以稱為二維光強校準。
3、橫向校準：這一校準是為了標定在當前設置下，每個像素在橫向上代表的尺寸大小。
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