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三坐標測量機又稱為三坐標測量儀或三次元，是典型的機電一體化設備，它由機械系統和電子系統兩大部分組成：
（1）機械系統：一般由三個正交的直線運動軸構成。X向導軌系統裝在工作臺上，移動橋架橫梁是Y向導軌系統，Z向導軌系統裝在中央滑架內。三個方向軸上均裝有光柵尺用以度量各軸位移值。人工驅動的手輪及機動、數控驅動的電機一般都在各軸附近。用來觸測被檢測零件表面的測頭裝在Z軸端部。
（2）電子系統：一般由光柵計數系統、測頭信號接口和計算機等組成，用于獲得被測坐標點數據，并對數據進行處理。
三坐標測量機的操作使用說明：
1、首先是要查看零件圖紙，了解測量的要求和方法，規劃檢測方案或調出檢測程序。
2、吊裝放置被測零件過程中，特別要注意遵守吊車安全的操作規程，保護不損壞測量機和零件，零件安放在方便檢測、阿貝誤差最小的位置并固定牢固。
3、按照測量方案安裝探針及探針附件，要按下“緊急停”按鈕在進行，并注意輕拿輕放，用力適當，更換后試運行時要注意試驗一下測頭保護功能是否正常。
4、實施測量過程中，操作人員要精力集中，運行程序時要注意減速運行，確定編程無誤后再使用正常速度。
5、一旦有不正常情況，應立即按“緊急停”按鈕，保護現場，查找出原因后，再繼續運行或通知維修人員維修。
6、檢測完成后，將測量程序和程序運行參數及測頭配置等說明存檔。
7、拆卸（更換）零件，清潔臺面。
8、三坐標測量機在使用之后要進行適當的清理，后期保養也很重要。
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