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真空氣氛爐又名無氧退火爐、真空氣氛燒結爐等物體在通入一定氣體的爐膛內進行燒結的方法。不同的材料選擇適宜的氣氛燒結，有助于燒結過程，提高制品致密化程度、獲得良好的性能的制品。真空氣氛爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體(如氬)等各種氣氛。例如透明氧化鋁陶瓷可用氫氣氛燒結，透明鐵電陶瓷宜用氧氣氛燒結，氮化物陶瓷如氮化鋁等宜用氮氣氛燒結。有時為保護燒結調協也須在保護氣氛中操作。如鉬絲爐宜通氫，鎢絲爐宜在真空條件下工作。
真空氣氛爐是真空技術與熱處理技術相結合的新型熱處理技術，真空熱處理所處的真空環境指的是低于一個大氣壓的氣氛環境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實際也屬于氣氛控制熱處理。真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下進行的，真空熱處理可以實現幾乎所有的常規熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質量大大提高。與常規熱處理相比，真空熱處理的同時，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。
真空氣氛爐的主要優點是:
(1)減少了氣氛中有害成分(水、氧、氮)對產品的不良影響。例如要使電解氫氣中含水量降至一40℃的露點是相當困難的，而真空度只要達到133Pa就相當于含水量為一40℃的露點。而獲得這樣的真空度是并不困難的。
(2)對于不宜用還原性或惰性氣體作保護氣氛(如活性金屬的燒結)，或容易出現脫碳、滲碳的材料均可用真空燒結。
(3)真空可改善液相對固相的潤濕性，有利于收縮和改善合金的組織。
(4)真空燒結有助于硅、鋁、鎂、鈣等雜質或其氧化物的排除，起到凈化材料的作用。
(5)真空有利于排除吸附氣體、孔隙中的殘留氣體以及反應氣體產物，對促進燒結后期的收縮有明顯作用。如真空燒結的硬質合金的孔隙度要明顯低于在氫氣中燒結的硬質合金。
(6)真空燒結溫度比氣體保護燒結的溫度要低一些，如燒結硬質合金時燒結溫度可降低100~150℃。這有利于降低能耗和防止晶粒長大。
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