XRF歸納之X射線熒光光譜分析概述
 

　　
 

　　X射線熒光光譜分析(XRayFluorescence，XRF)是固體物質成分分析的常規(guī)檢測手段，也是一種重要的表面/表層分析方法。
 

　　XRF測試作為常用測試之一，但仍有許多同學不太了解，本篇文章由科學指南針科研服務平臺給大家介紹X射線熒光光譜分析概述。
 

　　X射線熒光光譜分析(XRayFluorescence，XRF)是固體物質成分分析的常規(guī)檢測手段，也是一種重要的表面/表層分析方法。由于整體技術和分光晶體研制發(fā)展所限，早期的X射線熒光光譜儀檢測范圍較窄，靈敏度較差。隨著測角儀、計數器、光譜室溫度穩(wěn)定等新技術的進步，使現代X射線熒光光譜儀的測量精密度與準確度有了較大改善。特別是人工合成多層膜晶體的開發(fā)應用使輕元素鈹、硼、碳、氮、氧等的X射線熒光光譜分析分析成為可能，這類晶體是由低原子序數和高原子序數物質以納米級厚度交替疊積而成，其層間厚度可以人工控制，如OVO-B晶體的間距為20納米，適用于硼和鈹的分析。由于X射線管的功率增大，鈹窗減薄，X射線管與樣品的距離縮短，為輕元素分析配備了超粗準直器，降低了元素的檢出限，技術發(fā)展使現代X射線熒光光譜儀的檢測范圍可達到4Be(鈹)～92U(鈾)，對元素的檢測范圍為10-6%～100%。
 

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