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痕量氣體是大氣中濃度低于10E-6的粒種，比如潔凈大氣中穩(wěn)定的痕量氣體有氦、氪、氙等；不穩(wěn)定的有二氧化碳、氧化亞氮、甲烷、氫和臭氧；很不穩(wěn)定的有一氧化碳、二氧化氮、二氧化硫、硫化氫和水蒸氣等。它們參與大氣化學(xué)循環(huán)，在大氣中的滯留期為幾天至幾十年，甚至更長。它們中有一些是天然排放的，但有一部分是由于人類活動(dòng)大量排放了各種痕量粒種，這些痕量粒種受到各種物理、化學(xué)、生物、地球過程的作用并參與生物地球化學(xué)的循環(huán)，對(duì)全球大氣環(huán)境及生態(tài)造成了重大影響。
痕量氣體在線分析儀用一束紅外光透過檢測室射入檢測器，測量過程中通過切換電磁閥將采用氣體和參比氣體切換通入檢測室。測量樣氣和參比氣體使用相同的氣體（例如零點(diǎn)氣體）時(shí)，無法產(chǎn)生調(diào)制信號(hào)，因此不會(huì)產(chǎn)生漂移，解決了 痕量氣體分析中的零點(diǎn)漂移宜問題。而且使用雙光路檢測氣室，以相反的相位導(dǎo)入測量樣氣和參比氣體，可實(shí)現(xiàn)了長期安定穩(wěn)定運(yùn)行，無需光學(xué)調(diào)整。
一般情況下，作為工業(yè)用氣體使用的氧氣，氮?dú)馐峭ㄟ^空氣分離來制造的。首先將除去水分和CO2的原料空氣通入分離裝置，分離裝置時(shí)利用氮?dú)狻鍤夂脱鯕馊邭怏w的沸點(diǎn)不同進(jìn)行分離出不同氣體。氫氣和氦氣也是利用類似的氣體分離裝置制備。GA-370測量實(shí)例。高純度氮?dú)狻鍤狻⒀鯕庵圃煨袠I(yè)痕量氣體的測定。除去水分、CO2后原料氣體中痕量氣體的測量。
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