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電感耦合等離子發射光譜儀ICP-OES，是指以電感耦合等離子體作為激發光源，根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的儀器。待測元素原子的能級結構不同，因此發射譜線的特征不同，據此可對樣品進行定性分析；而待測元素原子的濃度不同，因此發射強度不同，可實現元素的定量測定。
ICP發射光譜分析過程主要分為三步：激發、分光和檢測。
（1）利用等離子體激發光源使試樣蒸發汽化，離解或分解為原子狀態，原子可能進一步電離成離子狀態，原子及離子在光源中激發發光。
（2）利用光譜儀器將光源發射的光分解為按波長排列的光譜。
（3）利用光電器件檢測光譜，按測定得到的光譜波長對試樣進行定性分析，按發射光強度進行定量分析。
電感耦合等離子發射光譜儀檢測分析的特點：
（1）應用范圍寬：可以測定70多種元素。
（2）多元素同時檢測能力：可以同時測定一個樣品中的多種元素。每一個樣品一經激發后，不同元素都發射特征光譜，這樣就可同時測定多種元素。
（3）選擇性好：每種元素因原子結構不同，發射各自不同的特征光譜。在分析化學上，這種性質上的差異，對于一些化學性質極相似的元素具有特別重要的意義。例如鈮和鉭、鋯和鉿、幾十種稀土元素用其他方法分析都很困難，而發射光譜分析可以毫無困難地將它們區分開來并加以測定。
（4）檢出限低：一般光源可達10~0.1ug/g(或ug.cm3),絕對值可達1~0.01ug.電感耦合高頻等離子體（ICP）檢出限可達ng/g級。
（5）準確度較高：一般光源相對誤差約5%~10%，ICP相對誤差可達1%以下。
（6）試樣消耗少。
（7）ICP光源校準曲線線性范圍寬，可達4~6個數量級，可以測定元素各種不同含量（高、中、微含量）。
（8）常見的非金屬元素如氧、硫、氮、鹵素等譜線在遠紫外區，目前一般的光譜儀尚無法檢測；還有一些非金屬元素，如Te等，由于其激發電位高，靈敏度較低。
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