該設備由低壓紫外燈，光波過濾器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、樣品光電傳感器、采樣光電傳感器、輸出顯示、電路部件構成。可用于石油、石化、冶金、化工、消防、燃氣、環保、電力、通訊、造紙，印染、污水處理、食品釀造、科研、教育、國防。

  臭氧分析儀將樣氣通過內置泵及樣氣處理系統不斷地供給光學平臺。通過光學平臺的紫外光束的強度與存在于樣氣中的臭氧濃度成反比，該信號被檢測出來并被量化為相應的濃度通過顯示系統顯示。參考子系統通過校正氣源濃度、探測器響應以及樣氣中干擾部分的變化保證了測量的高度穩定性。通過比較樣氣和參考源測量值實現了自校零和干擾去除，由于這些參考源、校零及干擾去除子系統的運行，實際上系統沒有零漂或跨漂。所有操作均在前面板上。臭氧濃度及相關的壓力、溫度、流量等顯示在安裝于前面板的液晶顯示器上。各種選購件及樣氣入口連接器、過濾器安裝在后面板上，這樣便于使用，易于更換。