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氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切制與反吹系統(tǒng)，該系統(tǒng)由多個(gè)吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成，通過工作站設(shè)置的時(shí)間程序自動(dòng)控制其進(jìn)樣、切換、切割與反吹等過程，完成包括高純氮、高純氫、高統(tǒng)氧、高純氮、高純二氧化碳、高純氬、氮?dú)狻鍤狻⒎諝獾雀呒儦怏w以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中瘋量雜質(zhì)的檢測(cè)。
·吹掃型十通閥：
自帶保護(hù)氣路的吹掃型十通閥，閥平面始終處于載氣的氛圍中，避免進(jìn)樣和切換時(shí)空氣滲透到樣品之中，大大提高檢測(cè)靈敏度和準(zhǔn)確性。進(jìn)樣閥制作精良，外觀精美，所有材料均進(jìn)行了防吸附處理，且整個(gè)間體的死體積已減小，再配合吹掃氣路的保護(hù)，從而*排除空氣滲透對(duì)樣品中痕量雜質(zhì)檢測(cè)的影響
·色譜柱技術(shù)
（1）色譜柱管材內(nèi)壁均做了鍵化處理，防止吸附和一氧化碳拖尾等問題的產(chǎn)生
（2）色譜柱采用的擔(dān)體均經(jīng)過特殊處理，避免氧吸附等問題的產(chǎn)生
（3）預(yù)切柱采用了微型填充柱技術(shù)，改善了樣品的分離，兼顧分離、穩(wěn)定與快速
氦離子化氣相色譜儀氣體分析流程：
上述部分組成的氣體全分析流程，可以自動(dòng)完成進(jìn)樣、切制、反吹等分析過程，真正解決多種氣體中雜質(zhì)的分離，滿足包括高純氮、高純氯、高純氧、高純氮、高純二氧化碳、高純氫、氟氣、部氣、氮?dú)獾雀呒儦怏w以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)需求。
氣相色譜法是一種常用的氣體分析方法之一，它具有簡(jiǎn)便快捷、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，對(duì)于氣態(tài)樣品的檢測(cè)一般利用該方法進(jìn)行。在氣相色譜法分析樣品的過程中，所選用的色譜柱、柱溫、檢測(cè)器等條件直接影響樣品分析的分離度和檢測(cè)限。通過對(duì)色譜條件優(yōu)化后，建立了利用氣相色譜儀進(jìn)行分析的方法。
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