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超純水器其原理都是自來水經過精密濾芯和活性炭濾芯進行預處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味等，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進行水質純化脫鹽，純化水進入儲水箱儲存起來，其水質可以達到國家三級水標準，同時反滲透裝置產水的廢水(亦稱“濃水”)排掉。反滲透純水通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水，zui后如果用戶有特殊要求，則在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細菌、微粒、熱源等。
超純水器的使用壽命與水質、日常維護有著緊密的聯系。水質差、日常不注重清洗維護會加重縮短超純水器的使用期。在超純水器的水箱及RO膜表面極易產生菌膜，菌膜會使純水器的運轉出現問題，如造成濾膜阻塞、內壓升高、系統漏水、增壓泵損壞;菌膜也造成離子交換樹脂無法正常工作;菌膜還會阻塞RO膜;定期清洗水箱;及時更換耗材，不管用水量大小，凡是浸泡在水中的耗材都不可避免地形成菌膜，使用中要根據情況及時更換純水器的耗材，這樣才可避免菌膜的產生并使純水器達到良好狀態，保持實驗結果在低污染背景下的高一致性。
精密濾芯、活性炭濾芯、反滲透膜、純化柱都是具有相對壽命的材料，精密濾芯和活性炭濾芯實際上是對反滲透膜的保護，如果它們失效，那么反滲透膜的負荷就加重，壽命減短，如果繼續開機的話，那產生的純水水質就下降，隨之就加重了純化柱的負擔，則純化柱的壽命就會縮短。zui終結果是加大了超純水器的使用成本。
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