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在壓力容器中，常用的氦檢漏儀檢漏方法有噴氦法（負壓法）、吸槍法（正壓法）和氦氣罩法三種。從幾種方法的靈敏度比較來看，氦氣注入法的靈敏度更高。但是，當氦檢漏儀安裝在大型復雜的壓力容器設備上時，不確定注氦法的靈敏度是否高。
1、注氦法
氦氣注入法是一種常用且方便的檢漏方法。檢漏時，使用與裝有氦氣的鋼瓶相連的噴槍，將氦氣噴入可疑泄漏部位。如果氦氣從泄漏孔流入壓力容器裝置，裝置內的氦氣分壓會升高，氦氣檢漏儀上會顯示泄漏率。是否合格取決于標準泄漏率值。如果超過標準泄漏率值，則可視為不合格。
2、吸槍法
吸槍法是將氦氣或氦氣與其他氣體的混合物注入壓力容器裝置中，從壓力容器裝置外部檢測泄漏處泄漏的氦氣，然后找出泄漏。用吸槍尋找氦氣時，一旦吸入氦氣，氦氣檢漏儀就會顯示泄漏率值。在這種情況下，由于壓力容器裝置的外部是大氣壓，因此填充到壓力容器裝置中的氣體的壓力需要至少為一個大氣壓或更高。但是，壓力不應太高。如果壓力過高，插入設備中的壓力表或其他插件會彈出，造成人身傷害等危險事故。
3、氦氣屏蔽法
在該方法中，使用檢漏蓋（塑料薄膜等）包裹被測容器。首先排出罩內的空氣，然后充入氦氣或氦氣混合物。檢漏儀與被測容器相連。當檢漏儀上顯示漏率時，表示存在泄漏。這種泄漏率稱為總泄漏率。總泄漏率為各部分泄漏率之和；如果總泄漏率不超過標準值，則每次泄漏率不超過標準值；如果總泄漏率超過標準值，檢查各點泄漏率是否超過標準值。然后對超過標準值的泄漏進行修復，直至達到合格標準。
氦檢漏儀分子泵不工作的故障要如何維修？
1、TMP（分子泵工作頻率）在儀器界面顯示“0”，即分子泵不工作。可能是前級壓力過高（分子泵啟動壓力為200Pa），導致分子泵無法啟動。
2、檢查真空表是否有問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉動，系統是否漏氣。也有可能是分子泵的葉片或轉子損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。(2)分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲燒斷了。更換保險絲或檢查是否有短路。
3、分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，則可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
4、氦檢漏儀燈絲不能正常啟動。確認機械泵和分子泵處于正常工作狀態后，如果燈絲仍不能發射離子流，則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍，請檢查航空插座和離子源端子是否開路。如果開路，更換燈絲。如果沒有，請檢查端子和其他連接器是否連接，以消除短路。
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