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高溫真空燒結爐以加熱棒為加熱元件，采用雙層外殼結構和pid30段程序溫控系統，移相觸發器和晶閘管控制，爐膛采用軟硬碳纖維材料，可以快速升高和降低溫度。外殼整體密封，蓋板和爐門采用高溫硅膠O型圈密封，爐門配有水冷系統。爐子必須在真空下燒結。爐膛采用2x-30機械泵（配有電磁放空閥）和K-200油擴散泵，并配有冷阱和機組。該爐具有體積小、溫度場平衡、表面溫度低、升溫降溫速度快、*、節能等優點。
1、爐體：高溫真空燒結爐為立式爐殼，內層為不銹鋼制成的圓柱體，外層為碳鋼。兩層之間形成夾套，將通過冷卻水傳遞到爐殼的熱量帶走，使爐壁溫度不超過60℃，其上下法蘭焊接為一體。中間開有紅外測溫孔（帶保護氣氛通風口）、熱電偶測溫孔、抽氣孔和觀察孔。熱電偶配有溫度自動退出裝置。紅外測溫觀察孔裝有玻璃吹氣防霧裝置，操作人員使用的觀察孔裝有擋板。
2、爐蓋：由內外封頭和法蘭組成。中間水冷爐蓋掛在啟閉機構上。板式啟動機構上的手柄可將爐蓋抬起10-15mm。爐蓋裝有壓頭、壓力傳感器、排氣隔膜閥和爐蓋鎖緊裝置。
3、爐底：亦由內外封頭及法蘭、中間水冷、爐體底部固定、電極引入、下壓頭、進氣隔膜閥等組成，并配有高度可調位移傳感器
4、真空系統：高溫真空燒結爐真空系統采用2x-30機械泵（配有電磁放空閥）和K-200油擴散泵，并配有冷阱和機組。真空測量是復合真空計。真空系統還設有排氣閥和充氣閥，真空連接軟管采用不銹鋼金屬軟管。
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