高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體;可作為惰性氣體用于系統清洗、屏蔽和增壓;它用于化學氣相沉積、濺射和退火。高純氬氣也可用作色譜載氣。氬氣廣泛用于填充弧光燈、熒光燈和電子管;焊接保護氣體;在鈦、鈷等活性金屬的生產中用作保護氣體;用于黑色冶金中特殊鋼的轉化。
高純氬分析色譜儀采用加氬放電電離檢測器,主要用于高純氬和超純氬中H2、O2、N2、CH4、CO和CO2的分析。所有連接接口均采用1/8"VCR,保證儀器的氣密性。安裝的閥門經過嚴格的泄漏測試,安裝在帶有Ar氣吹掃的外殼內,與大氣*隔離。因此,環境污染以確保儀器具有更高的穩定性、靈敏度和更長的使用壽命。
高純氬分析色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體和電子工業氣體中痕量雜質的檢測。高純氬氣專用色譜儀配備氬離子化(AID)檢測器采用6通或10通閥,帶吹掃保護氣路。以上部件與凈化器、無死體積進樣閥等組成一整套高純氣體分析整體及解決方案。
高純氬分析色譜儀的性能特點:
1、4.3英寸觸摸屏液晶中文顯示,實時顯示各通道溫度和運行情況;
2、開機自檢,五級獨立控溫;
3、任何傳感器開路,儀器自動顯示并報警;
4、高精度雙穩定氣路,可同時安裝四個檢測器;
5、四個外部事件功能支持多閥切換;
6、可選擇電子流量壓力顯示系統和內置工作站設備。
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