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restek電子檢漏儀通常由真空系統、質譜室及測量電路組成，其中核心為質譜室。質譜室又由離子源、分析器、收集器三部分組成。其一般的原理是將進入質譜室中的混合氣體進行電離，形成具有一定能量的離子，這些離子由于質荷比的不同，在分析器中將按不同軌跡運動從而彼此分開，僅使氦離子在收集極上收集并最終放大顯示。
restek電子檢漏儀在本質上講可以看成是氦氣原子的計數器。其無論輸出顯示的是電壓值還是漏率值，雖然表現形式不一樣，但這些顯示值必將都與進入質譜室中的氦氣原子的摩爾數是線性正比的。在有些文獻上，也將檢漏儀的輸出顯示值看成與進入質譜室中的氦分壓成線性正比的。這在本質上是一致的，可以通過理想氣體的狀態方程進行簡單的轉換。在一般的氦質譜檢漏儀中，被檢件接在檢漏儀的高真空側(即檢漏儀的質譜室)，當被檢件漏氣或出氣較大時，質譜室中的壓力將超過儀器的最高工作壓力，此時檢漏儀就無法進行工作了，因此，實際工程中往往采用逆流檢漏儀。逆流檢漏儀是利用高真空泵的
壓縮比與被抽氣體質量有關的原理來工作的。氣體的質量越小，壓縮比也就越小，因此逆擴散的示漏氣體的分子數就越多，這些逆擴散的分子進入質譜室，最終形成了檢漏儀的輸出讀數。現在工程實際中所使用的檢漏儀幾乎全是逆流檢漏儀。
restek電子檢漏儀入口壓力與顯示值的關系：
(1)當所測氣體的濃度和溫度固定時，檢漏儀的入口壓力與顯示值是線性關系；且該線性關系的斜率是檢漏儀的本質屬性，只與檢漏儀自身的參數有關。
(2)通過調節檢漏儀的入口壓力來調節進入檢漏儀的氦氣量，從而可以測試檢漏儀的線性，這就為測試檢漏儀的線性提供了一種廉價而方便的方法。
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