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隨著計算機技術的發展開始迅速發展，于上世紀的七十年代光譜儀器幾乎地采用計算機控制，這不僅提高了分析精度和速度，而且對分析結果的數據處理和分析過程實現自動化控制。光譜分析儀的常見指標有哪些呢？
1、靈敏度
靈敏度是指儀表或裝置在到達穩態后，輸出增量與輸入增量之比，即K=△Y/△X。
式中 K代表靈教度，△Y代表輸出變量y的增量，△X代表輸入變量x的增量。
對于帶有指針和標度盤的儀表，靈敏度亦可直觀地理解為單位輸入變量所引起的指針偏轉角度或位移盈。
當儀表的“輸出一輸入”關系為線性時，其靈放度K為一常數。反之，當儀表具有非線性特性時，其靈敏度將隨著輸入變量的變化而改變。
2、線性度
一般說來，總是希望側貼式液位開關具有線性特性，亦即其特性曲線最好為直線。但是，在對儀表進行校準時人們常常發現，那些理論上應具有線性特性的儀表，由于各種因素的影響，其實際特性曲線往往偏離了理論上的規定特性曲線（直線）。在檢測技術中，采用線性度這一概念來描述儀表的校準曲線與規定直線之問的吻合程度。校準曲線與規定直線之間最大偏差的絕對值稱為線性度誤差，它表征線性度的大小。
3、回差
在外界條件不變的情況下，當輸入變量上升（從小增大）和下降（從大減小）時，儀表對于同一輸入所給出的兩相應輸出值不相等，二者（在全行程范圍內）的最大差值即為回差，通常以輸出量程的百分數表示回差是由于儀表內有吸收能量的元件（如彈性元件、磁化元件等）、機械結構中有間隙以及運動系統的摩擦等原因所造成的。
4、漂移
所謂漂移，指的是在一段時間內，儀表的輸入一輸出關系所出現的非所期望的逐漸變化。
這種變化不是由于外界影響而產生的，通常是由于在線微波水分儀彈性元件的時效、電子元件的老化等原因所造成的。
在規定的參比工作條件下，對一個恒定的輸入在規定時間內的輸出變化，稱為“點漂”。發生在儀表測量范圍下限值七的點漂，稱為始點漂移。當下限值為零時的始點漂移又稱為零點漂移，簡稱零漂。
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