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對測量儀精度評定或實施誤差修正，要以坐標測量機固有誤差的模型為基礎，其中，必須給出各誤差項的定義，分析，傳遞及誤差合成后的總誤差。所謂的總誤差，在測量儀的精度檢定中，是指反映坐標測量機精度特性的綜合誤差，即指示精度，重復精度等：在測量儀的誤差修正技術中，則是指空間點的矢量誤差。
一、機構誤差分析：
測量儀的機構特征，導軌對被它引導的部件限制五個自由度，測量系統控制運動方向上的第六個自由度，因此導向部件在空間的位置，由導軌及其所屬的測量系統確定。
二、測頭誤差分析：
三坐標測量儀的測頭分為兩種：接觸式測頭按其結構又分為開關式和掃描式兩大類。開關式測頭的誤差由開關行程，測頭各向異性，開關行程分散性，復位死區等引起。掃描式測頭的誤差由測力一位移關系，位移一位移關系，交叉耦合干擾等引起。
測頭的開關行程為測頭與工件接觸至測頭發訊，測頭所偏擺的一段距離。這是測頭的系統誤差。測頭的各向異性是開關行程在各個方向上的不一致性。它是系統誤差，但通常作隨機誤差處理。開關行程的分解性指重復測量時開關行程的離散程度。實際測量時，以某一方向開關行程的標準偏差計算。
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