HMDS烘箱預處理系統操作流程
1、首先確定烘箱工作溫度;
2、預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內真牢度達到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分;
3、再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應;
4、當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業過程。
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