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煙氣水分儀是針對常規工況下水分測量產品，具有較強的抗干擾能力，能夠克服煙氣的粉塵、高溫和酸性腐蝕問題，一般使用在火力發電、工業窯爐等。
煙氣水分儀的定義和表示方法，按照國家計量技術規范《常用濕度計量名詞術語》（JJF1012-87）,把液體或固體物質中水的含量定義為水分，對應于英文的Moisture。把氣體中水蒸氣（水蒸氣也常稱為水汽或蒸汽）的含量定義為濕度，對應于英文的Humidity。當氣體中水蒸氣的含量低于-20℃露點時（在標準大氣壓下為1020ppmV），工業中習慣上稱為微量水分（Tracewater），而不叫濕度。
廣泛應用于煙氣在線連續監測系統CEMS中脫硫脫硝煙氣濕度的測量，亦可應用于木材、建材、造紙、化工、制藥、纖維、紡織、煙草、蔬菜、食品加工的濕度測控。
煙氣水分儀應用的現象是：許多的物質在特定波長下吸取紅外能量，而不吸取在其它波長下的紅外能量。當測量受測物質的水含量時，要選用兩種波長。一種是為參照波長，不會被受測物質或水猛烈吸取。另一種是為測量波長，它不會被受測物質猛烈吸取，但會被水猛烈吸取。煙氣水分儀運用裝嵌在轉輪上的細密紅外濾光片。這種裝置允許參照光和測量光的脈沖交替地經過濾光片。被保存的光束會被聚焦在受測試的樣品上。
參照光被投影在樣品上，而后是測量光被投影在樣品上。這兩個具備時序的光能脈沖會被反射回到一個探測器上，依次轉換成兩個電信號。參考通道表示預料的反射能量的多少。測量通道有一些被水分子所吸取，因而其能量產生了衰減。這兩個信號結合變成一個比率（參照除法測量）。這比率與一些從不同含水程度樣品中取得的其它比率的差，是與兩者含水量的差成正比例。多種的要素能調動這比率而造成測量物料水分率的原因。
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