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當(dāng)?shù)蜏貧怏w分子與高溫固體碰撞時(shí)，它們會(huì)從固體中獲取熱量。通過(guò)氣體分子捕獲的熱量計(jì)算壓力的真空計(jì)稱(chēng)為多功能真空儀。真空檢測(cè)常用的方法有破壞性檢測(cè)和無(wú)損檢測(cè)。
常見(jiàn)的多功能真空儀破壞性試驗(yàn)方法是用針刺入容器頂部空間，通過(guò)壓力（真空）傳感器檢測(cè)并獲得真空度。在一定程度上，這種測(cè)試方法會(huì)受到管道中空氣的影響，可用于真空的粗略抽查，特別是在小型頂空容器中。典型應(yīng)用是粗略評(píng)估密閉容器的完整性測(cè)試（CCIT）。方法是將高真空西林瓶的樣品（抽真空到接近0.1mbar）保持半年到一年，然后觀察瓶?jī)?nèi)真空度。如果里面有一定的真空，即里面的壓力是微負(fù)壓，就說(shuō)明瓶??子不漏氣；反之，如果里面的壓力是常壓，就說(shuō)明瓶??子漏氣了。
如果用于工藝優(yōu)化和標(biāo)準(zhǔn)制定，通常采用無(wú)損真空測(cè)試方法。常見(jiàn)的無(wú)損真空測(cè)量方法是激光法（即頻率調(diào)制光譜（FMS））。其基本原理是空氣中的O2、水蒸氣和CO2在一定波段下會(huì)發(fā)生激光吸收，從而得到吸收光譜。吸收激光的量（圖中峰高或幅值）與物質(zhì)的含量成正比，其中水蒸氣激光吸收光譜中的峰寬（波峰與波谷的橫向距離）與物質(zhì)的含量成正比。總頂部空間壓力。因此，激光法可用于檢測(cè)容器的無(wú)損真空度。激光法對(duì)真空度的小檢測(cè)限為7mbar左右，可以測(cè)試出接近真實(shí)的真空度。
多功能真空儀是電路板布線密度高的精密儀器。一般要求存放在干燥的地方。如果環(huán)境潮濕，應(yīng)經(jīng)常通電。
1、若試驗(yàn)后電流值為零，則檢查滅弧室表面是否清潔。由于表面不干凈，泄漏的變化值可能大于電離電流值。這樣，測(cè)量值減去泄漏量小于零，被儀器判斷為零。發(fā)生這種情況后，將滅弧室表面擦拭干凈，然后進(jìn)行測(cè)試。一般來(lái)說(shuō)，這樣得到的真空值比較準(zhǔn)確。
2、使用時(shí)，高壓輸出線不得接觸人體，以防觸電。
3、高壓指示燈亮?xí)r，請(qǐng)勿觸摸高壓線和磁控電流線，以防觸電。
4、打印紙的拆裝應(yīng)在儀器先斷電后進(jìn)行，以免損壞打印機(jī)。換紙時(shí)，打開(kāi)前面板，用食指和拇指捏住打印機(jī)兩端的兩個(gè)夾子，輕輕拉出打印機(jī)，使出紙口略高于儀表板，但距離不能太大。將新進(jìn)紙口剪成尖頭狀，插入打印機(jī)進(jìn)紙口，打開(kāi)儀器電源開(kāi)關(guān)，按下打印鍵，使出紙離打印機(jī)上端一定距離，將其插入面板出口接縫并導(dǎo)出。蓋住打印機(jī)面板并裝入紙張。
5、多功能真空儀無(wú)用戶可維修部件。如有故障，請(qǐng)請(qǐng)專(zhuān)業(yè)人員維修或聯(lián)系供應(yīng)商。請(qǐng)勿擅自打開(kāi)儀器，以免發(fā)生事故或造成不必要的損失。
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