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真空設備真空計的分類及應用

來源:昆山上善真空科技有限公司   2021年12月17日 13:58  
  真空鍍膜設備真空裝置自動控制中,往往要進行真空測量,由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同,因此,從105Pa—10-5Pa各真空區域的真空測量塢會遇到。通常使用的真空計有電阻真空計、熱偶真空計、電容薄膜真空計、電離真空計、超高真空計等。為了拓展真空計的功能,真空儀器廠家還生產包括遙控遙測、模擬量輸出、RS - 232C等通信接口、壓力調節等功能模塊板供用戶選配。
  因此,一個配置齊全的真空計,不僅能進行真空度測量、數字顯示、量程自動切換、誤差自動修正,而且能在壓力設定點發出控制信號去進行壓力控制,按設定壓力值進行壓力自動調節,還能將測量值打印記錄,并與上位機進行通信聯系,甚至還能進行遠距離真空測量與控制。
  TTR91N全量程真空計 PENNINGVAC變送器PTR90N是PTR90的升級款結合了冷陰極電離原理與皮拉尼真空規原理的全量程真空規.一臺變送器就能測量從5E-9 mbar到大氣壓的壓強范圍.在Z佳點火壓強接通內部高壓,冷陰極系統直接點火。
  主要特點.
  1. 從一大氣壓到極限壓力之間皆可運轉使用。
  2. 在低真空壓下,仍可保持良好的抽氣速度。
  3. 低噪音、低震動。
  4. 內置出口濾心,可達99.9%的油氣過濾效果。
  5. *的排除水蒸氣的功能。
  6. 空氣冷卻,經濟方便<也可選擇水冷冷卻>。
  7. 進氣口配置有止回閥,避免泵浦停止時,真空油會逆流。
  8. 結構緊湊、體積小、節省空間。
  9. 非常容易保養。

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