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鍵合機是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，可以處理從碎片到200mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝，例如陽極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設計允許對不同的晶圓尺寸和工藝進行快速便捷的重新工具化，轉(zhuǎn)換時間不到5分鐘。這種多功能性非常適合大學，研發(fā)機構或小批量生產(chǎn)應用。本產(chǎn)品與大批量制造工具上的鍵合室設計相同，鍵合程序易于轉(zhuǎn)移，可輕松擴大生產(chǎn)規(guī)模。
鍵合機的結(jié)構說明：
1、爐體：采用雙層水夾層結(jié)構，爐壁溫度不超過60℃，內(nèi)外壁為不銹鋼拋光。上、下法蘭組焊成筒型結(jié)構，法蘭平面開設密封槽。采用氟圈真空密封，并設水冷裝置。爐體設有抽真空接口、充氣接口、放氣接口、真空壓力表接口、真空規(guī)管接口、溫度測量接口、電極法蘭接口、冷卻水進出接口等。
2、爐蓋：采用雙層夾層封頭結(jié)構，內(nèi)外壁為304不銹鋼，爐蓋上設有水冷不銹鋼上壓頭、壓頭鎖緊裝置、爐蓋導向裝置、泄壓閥、爐蓋緊鎖等裝置。爐蓋可方便的提起和安裝。
3、爐底：采用雙層水夾層結(jié)構，水冷不銹鋼下壓頭、壓力傳感器、真空密封結(jié)構、液壓缸、可調(diào)節(jié)高度位移傳感器等。
4、爐架：由四根立柱與架臺連接，上下承壓板采用碳鋼煮黑處理，橫放在四根立柱上，采用M24螺母進行鎖緊、固定。耐壓強度高，光潔度及平衡度高。
5、壓頭：上、下壓頭采用高純石墨塊制作壓成。配合陶瓷隔熱片、云母隔熱片與設備水冷壓頭組成一整套完備的結(jié)構設計。
6、真空獲得系統(tǒng)：由一臺機械泵以及高真空手動擋板閥，波紋管等組成。
7、真空測量系統(tǒng)：采用電阻真空計測量真空度。
8、液壓系統(tǒng)：采用電動輸入方式。由液壓站配有進口比例閥、壓力傳感器、位移顯示器、液壓缸等相關液壓裝置，壓力調(diào)節(jié)半自動化、可通過手動調(diào)節(jié)。儀表可設定自動調(diào)節(jié)壓力，并能實現(xiàn)穩(wěn)壓、保壓。
9、溫控系統(tǒng)：采用日本島電溫控器配合固態(tài)繼電器和K型熱電偶形成閉環(huán)PID控溫，控溫精準，誤差在1℃內(nèi)。
10、水冷系統(tǒng)：由各種管道閥等相關裝置組成，具有水壓欠壓、斷水聲光報警自動切斷電源功能。
11、發(fā)熱組件、隔熱屏：發(fā)熱組件采用氧化鋁纖維加熱模塊的結(jié)構，方便模塊化更新和維護，保溫性能好、加熱均勻、輻射面大、耐熱沖擊性好。保溫層和發(fā)熱分體，易維護和取裝。
13、充氣系統(tǒng)：由各種管道及閥門組成，并配有放氣閥，充氣管路上裝有針閥。并配有奧托尼克斯壓力變送器和日本進口CKD閥，能實現(xiàn)自動充放氣功能，自動保壓、穩(wěn)壓。
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