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真空泵油是淡黃色、無異味、透明油狀液體。具有抽氣速率高，極限壓力低，熱、氧化安定性好等特點，優良的熱氧化安定性，使得它不易生成油泥、漆膜及其他氧化產物，且具有良好的防銹、抗腐蝕性能，能防止汽缸、排氣閥銹蝕腐蝕。適用于各類油循環旋片真空泵的密封和潤滑、真空包裝機、真空吸塑機、真空雕刻機、真空貼合機等設備。
真空泵油的主要作用在導熱油泵使用的過程中，由于真空泵油直接進入泵體內腔，在真空泵運行時，隨著氣體壓強的逐漸降低，泵溫的逐漸升高。油品中飽和蒸汽壓高的分子組分就能蒸發到真空的空間，即影響真空泵極限壓強的達到，又可向真空系統返流擴散，污染真空系統，并直接影響極限真空的獲得。該真空泵油在泵體內擔負著潤滑、密封、和冷卻的作用。
真空泵油的使用壽命取決于所處的工作環境，根據真空泵使用工況條件、環境條件及真空系統所用油品，規定更換真空泵油周期。在抽取干凈、干燥的氣體及工作溫度低的工作環境下，一般每隔半年必須更換油。在非常惡劣的工作環境下，必須按照規定的工作小時換油。當真空泵油顏色變深，呈褐色時，均應當換油。換油時應將泵體內使用過的舊油品排放，將新油倒入后慢慢轉動泵軸，清掃泵腔排盡殘油，重復清洗數次，等洗凈后換入新油。
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