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介質在某一特定壓強和溫度以上，會轉變成同時具有氣體和液體性質的超臨界流體，其粘度和擴散系數接近氣體，密度和溶解能力接近液體。這一特定的壓強和溫度點稱為臨界點。在臨界點時介質的表面張力為零，干燥過程無須經歷氣液轉換過程，對樣品的破壞大大降低。徠卡自動臨界點干燥儀（Critical Point Dryers，CPD）即根據此原理設計制作，通常采用液態CO2為介質，并以乙醇作為中間溶劑，可廣泛用于化工、材料、電子、生物、制藥、醫學等領域樣品的干燥。
徠卡自動臨界點干燥儀操作步驟：
1.打開電源。
2.確認綠色進氣閥、黑色排氣閥和紅色放氣閥均為關閉狀態。
3.預冷腔室：（1）打開液體CO2鋼瓶閥門；（2）緩慢打開藍色冷卻閥冷卻腔室；（3）觀察面板上的溫度顯示，當相對于環境溫度有10℃左右的溫差時，關閉藍色冷卻閥。注：當流量過大時，液體CO2將大量汽化吸熱，造成部分液體CO2轉變成固體干冰，同時出現因閥門和管路凍結堵塞引起的“噴射”現象；可減小流量并稍等片刻再充。
4.裝樣品：確認腔室壓力為0，打開腔室迅速將樣品裝入腔室，蓋上頂蓋并確保三顆緊固螺栓已被擰緊。注：裝入的樣品僅占腔室的三分之二。
5.注液浸泡：緩慢打開綠色進氣閥，通過觀察窗觀察CO2液面線上升到正確的位置（兩條紅線之間，切勿超出上限），關閉綠色進氣閥，將樣品浸泡大約5分鐘，對較大樣品應該用兩倍或更長的浸泡時間，目的是實現充分的溶解置換。注：（1）在灌注過程中，腔室溫度可能會升高導致充入困難，這時可緩慢打開藍色冷卻閥待腔室再次被冷卻至合適的溫度后關閉。（2）不要使腔室注入過多CO2，當液面線超上限后將導致后續加熱時腔室壓力過大，安全保護減壓閥被啟動，對樣品會造成破壞
6.磁力攪拌：為提高置換速度，可打開磁力攪拌器。注：易損樣品不宜攪拌。
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