二手電鏡主要用于對材料的微觀形貌、組織和成分進行有效分析,掃描電鏡精髓功能,結構緊湊、節省空間,分辨率高。。它一種新型的電子光學儀器,被廣泛地應用于化學、生物、醫學、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領域和工業部門。
制樣簡單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應等,對于導電材料,可直接放入樣品室進行分析,對于導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電層。在半導體應用中,還可以安裝EBIC探測器,采集感生電流圖像,大大豐富了信號的采集,對樣品的信息的收集達到了新的高度。
二手電鏡的技術特點:
1.低加速電壓成像能力,1kv分辨率可達1.3nm;
2.日立的ExB設計,不需噴鍍,可以直接觀測不導電樣品;
3.配置Lower、Upper和Top三個Everhart-Thornley型探測器;
4.Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像;
5.可以根據樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減速功能;
6.標配有冷指、電子槍內置加熱器,物鏡光闌具有自清潔功能;
7.儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成;
基本結構:
從結構上看,掃描電鏡主要由七大系統組成,即電子光學系統、信號探測處理和顯示系統、圖像記錄系統、樣品室、真空系統、冷卻循環水系統、電源供給系統。其中最重要的三個系統是電子光學系統、信號探測處理和顯示系統以及真空系統。
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