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真空度：處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用真空度表示。從真空表所讀得的數值稱真空度。真空度數值是表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值，從表上表示出來的數值又稱為表壓強，業界也稱為極限相對壓強，即： 真空度=大氣壓強-壓強(大氣壓強一般取101325Pa，水環式真空泵極限壓強3300Pa；旋片式真空泵極限壓強約10Pa)
極限相對壓強：相對壓強即所測內部壓強比“大氣壓”低多少壓強。表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值。由于容器內部空氣被抽，因此，內部的壓強始終低于容器外部壓強。所以當用相對壓強或者表壓強表示的時候，數值前面必須帶負號，表示容器內部壓強比外部壓強低。
極限壓強：壓強即所測內部壓強比”理論真空(理論真空壓強值為0Pa)”高多少壓強。它所比較的對象為理論狀態的真空壓強值。由于工藝所限，我們無論如何都不能將內部壓強抽到真空0Pa這個數值，因此，真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當用真空表示時，數值前面無負號。
抽氣量：抽氣量是真空泵抽速的一個衡量因素。一般單位用L/S和m3/h來表示。是彌補漏氣率的參數。不難理解，理論下抽一個相同體積的容器，為什么抽氣量大的真空泵很容易抽到我們所需的真空度，而抽氣量小的真空泵很慢甚至無法抽到我們想要的真空度?因為管路或者容器始終不可能做到不漏氣，而抽氣量大的彌補了漏氣所帶來的真空度下降的因素，所以，大氣量的很容易抽到理想真空度值。這里建議，在計算出理論抽氣量的情況下，我們盡量選擇高一級的抽氣量的真空泵。
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