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3D光學干涉輪廓儀主要是用于產品微觀形貌測量，主要是測微觀粗糙度，精度一般是亞微米和納級別的。是來測工件測長寬高尺寸、角度、直徑、半徑等參數，還可以進行一些形位公差的評定，精度都是微米級別的。主要用于零件輪廓尺寸測量，比如汽配行業、軸承行業、五金工具、機械加工、緊固件行業、軸承行業、模具行業等等。
下面就3D光學干涉輪廓儀的應用領域舉例如下：
1、PDP測量
PDP是PlasmaDisplayPanel（等離子顯示板）的省略詞，是前面和背面玻璃及之間被隔斷密封的玻璃之間注入Ne+Ar,Ne+Xe等氣體后，正負電極輸入電壓，從而產生Ne光的電子顯示裝置。界壁(BarrierRib):Panel的Cell電氣、光學、物理分割的隔離壁。
2、導電玻璃
ITO（導電玻璃）段差:ITO是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎上，利用濺射、蒸發等多種方法鍍上一層氧化銦錫膜加工制作成的。根據高度決定電阻值不同，所以管理高度時使用。
3、印刷電路
印刷電子元件是根據現有印刷方式和印刷技術來制作電路或電子元件。在此根據測量印刷的Pattern來管理電子元件的電荷量。PET薄膜上印刷的電極層(Ag)的幅度及高度測量:：為了解高度對電荷量的關系。
4、Dot測量
利用噴嘴印刷形成pattern是顯示器及半導體制造的現有技術之一。噴嘴噴射的Dot的模樣及大小，是決定印刷pattern幅度及厚度的重要因素。對于排線制作，形成最佳形態的Dot是形成pattern是必要因素，因此用于測量管理。
5、顯微透鏡
直徑在0.1至數毫米的顯微透鏡，用于光通信里激光和光纖維結合，或者用于復印機、傳真機、內視鏡等。
6、激光加工
部件的激光加工時根據加工條件的深度及形象測量，可確定加工機的加工條件環境。
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