橢圓偏振測厚儀 型號:TPY-1
儀器介紹
TPY-1橢圓偏振測厚儀采用消光法手動調節,自動測量薄膜厚度和折射率,精度高、靈敏度高、方便測量。光源采用氦氖激光器,功率穩定、波長精度高。儀器軟件具有生成表、查表以及精確計算等功能,方便用戶使用。
規格參數
測量范圍薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10
測量厚度最小示值(nm)≤1
偏振器方位角范圍0°- 180°讀取分辨率為0.05°
測量膜厚精度(nm)±1
折射率重復性精度±0.01
入射角調節范圍20°~90°精度為0.05°
入射光波長(nm)632.8
光學中心高(mm)80
允許樣品尺寸(mm)φ10-φ140,厚度≤15
外形尺寸(mm)590*390*290
主機重量(kg)25
配置表
型號 | 名稱 | 數量 | |
基本配置 | TPY-1 | 橢圓偏振測厚儀主機 | 1臺 |
TPY-1 | 主機電控箱 | 1套 | |
二氧化硅膜樣片 | 1片 | ||
TPY-1 | 橢圓偏振測厚儀專用軟件 | 1套 | |
需另配 | 計算機及打印機 | 1套 |
免責聲明
- 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。