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日立鎢燈絲掃描電鏡的整套設(shè)備是由電子槍、電磁透鏡、樣品倉和真空系統(tǒng)、控制電路，以及控制計(jì)算機(jī)和外圍輔助設(shè)施等部件組裝而成的。用戶在維護(hù)時(shí)通常要清洗和保養(yǎng)的主要部位是電子槍、鏡筒和真空系統(tǒng)的真空泵等，若是鎢燈絲掃描電鏡，電子槍柵極到陽極區(qū)間是受鎢陰極蒸汽污染最嚴(yán)重的地方，應(yīng)定時(shí)對柵極片的污染部位進(jìn)行清潔。
日立鎢燈絲掃描電鏡的維護(hù)與保養(yǎng)包含以下五個(gè)個(gè)方面：
1、襯管的拆卸與清潔
打開鏡筒上部的發(fā)射倉頂蓋，使用專業(yè)工具來提取鏡筒中的襯管，提取過程取出之后，然后再用專用工具的另外一根專用工具插入襯管中，慢慢推出襯管中的幾個(gè)光闌。襯管和光闌清洗完成后，經(jīng)烘烤后趁熱依照光闌的原來的順序倒過來，按專用工具上的規(guī)定的距離刻度依次推進(jìn)到襯管中的原位置。
2、光闌的清潔
普通光學(xué)顯微鏡的光闌不容易受損和污染，所以光闌的壽命幾乎是永jiu性的。但是掃描電鏡的光闌不同，它需要經(jīng)常清洗和更換。電子光學(xué)通道中的光闌在電子束的照射下，正是污染物最容易沉積的地方，由真空系統(tǒng)中的碳?xì)湫纬傻木酆衔锫练e在光闌的表面，特別是光闌的上表面。
3、閃爍體的保養(yǎng)
現(xiàn)在電鏡上使用的閃爍體多數(shù)是用潔凈而無氣泡的玻璃作基材，再在其上面涂覆一層P-47/46無機(jī)材料作為發(fā)光層，然后蒸鍍一層越70nm的鋁膜作為電極，雖然性能良好，但是在使用半年后，發(fā)光效率仍然會慢慢變差，整體性能會開始有所下降。
4、真空系統(tǒng)的維護(hù)
在真空系統(tǒng)中，需要經(jīng)常檢查機(jī)械真空泵和油擴(kuò)散泵的油面，一旦發(fā)現(xiàn)油面下降應(yīng)及時(shí)加油。機(jī)械泵若缺油不僅會磨壞軸套上的油封密封圈，而且對機(jī)械泵的旋片端頭和內(nèi)腔壁也可能會造成永jiu性的損傷，使極限真空度下降。用真空計(jì)檢查真空度是必要的，為了提高真空系統(tǒng)的可靠性，延長各部件的使用壽命，隨時(shí)做好維護(hù)和保養(yǎng)的措施。
5、冷水機(jī)的維護(hù)
1)應(yīng)經(jīng)常檢查冷水機(jī)的水管連接是否安全，牢靠，冷水機(jī)的流量、溫度和壓力是否合適。
2)建議每個(gè)月都應(yīng)檢查水箱的水位，一旦水位下降，應(yīng)及時(shí)補(bǔ)充，只能補(bǔ)充蒸餾水。
3)為防止水中微生物或游離性的有機(jī)雜質(zhì)，以免妨礙水的流動，影響冷卻效果，最好應(yīng)在水中添加殺菌劑，水箱中的蒸餾水至少每年更換一次。
4)對于壓縮機(jī)的風(fēng)冷過濾網(wǎng)和散熱風(fēng)扇的葉片每6個(gè)月清洗一次，清洗完成之后都應(yīng)在風(fēng)扇軸承上加1-2滴油。
5)為減少水垢對流量和制冷量的影響，建議每隔5年清洗管路。
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