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各種因素對于厚度測量誤差的影響

來源:無錫駿展儀器有限責任公司   2022年03月25日 09:47  

測量過程中各種因素對于厚度的影響

材料磁性的影響
磁性表示材料對磁場的適應程度。鐵或鎳等物質具有高磁性。它們會被磁化并加強磁場。

由于金屬及其合金的磁性不同,儀器必須對不同的材料重新校準。

曲面的影響
實際上,大多數測量誤差是由于樣品的形狀造成的。對于曲面,通過空間的磁場比例是不同的。例如,在平板上校準儀器,在凹面上測量會導致測量結果偏低,而在凸面上測量會導致測量結果偏高。 這種方式造成的誤差可能是實際值的數倍!

 Influence of the surface curvature on the layer thickness measurement with the magnetic induction process
小樣品或薄樣品的影響
如果樣品很小或很薄,也會產生類似的效果。 在這種情況下,磁場同樣會延伸到樣品之外的空間區域,從而影響測量結果。 為避免這些誤差,應始終在無涂層的實際工件基材上進行校準。

粗糙度的影響
對于粗糙表面,測量結果可能會失真,這取決于探針是放置在粗糙輪廓的“谷”還是“峰”上。這樣的測量結果差異會很大,建議通過多次重復測量取平均值來得到一個穩定的結果。 一般來說,只有當涂層厚度至少是粗糙度峰值的兩倍以上時,在粗糙表面上測量涂層厚度才有意義。

 Ayer Thickness Measurement With Magnetic Induction Process
為了獲得更好的精度,Fischer提供了大觸點的探頭以及雙觸點探頭。這些探頭能覆蓋粗糙表面,從而減少了測量值的離散性。
操作人員的影響
最后重要一點,儀器的操作方式也是一個主要的影響因素。確保探頭始終垂直接觸被測面,且不受外力。為了獲得更準確的測量值,還可以借助測量臺來使探頭自動接觸樣品。

測量過程中各種因素對于厚度的影響

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