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真空泵維修主要包括以下六個方面：
1、檢查油位。停泵時，將機油加到機油標號的中心位置。若過低，則不能密封排氣閥，影響真空度。如果過高，在大氣環境下啟動時，可能會引起噴油。在運行過程中，油位上升，這是正常現象。使用清潔真空泵油，從注油孔加入。加完油后，擰好油塞。油液應進行過濾，避免雜質進入，堵塞油孔。
2、當環境溫度過高時，油溫升高，粘度降低，飽和蒸汽壓升高，使極限真空度降低，特別是熱電偶測得的全壓。如果加強通風散熱或改善泵油的性能，可以提高極限真空度。
3、如果相對濕度較高，或抽氣中含有較多的可凝蒸汽，宜在連接抽氣容器后打開氣鎮閥，運行20-40分鐘后關閉氣鎮閥。停泵前，可打開氣鎮閥30分鐘，以延長泵油的使用壽命。
4、一般真空泵油霧分離器是和換油同時進行的，但是在發生故障后，也需要檢查真空泵油霧過濾器，看是否堵塞。
5、檢查旋片式真空泵的極限真空度，以壓縮水銀真空計為準。如果儀表進行充分預抽和校準，泵溫穩定，泵口與儀表直接連接，運行30分鐘內達到極限真空。總壓計測得的數值與泵油、真空表和調節的誤差有關。有時誤差會很大，只能作為參考。
6、真空泵油的選擇：泵油的粘度影響泵的啟動功率和極限真空度。粘度大時，有利于真空度的提高，啟動功率較大。油品在泵溫下的飽和蒸汽壓會影響泵的極限總壓力。高速真空泵油和擴散泵油的粘度比1號真空泵油高，飽和蒸汽壓比1號真空泵油低，但擴散泵油的價格較高。
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