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顯微熒光光譜儀分析對象主要有各種磁性材料(NdFeB、SmCo合金、FeTbDy)、鈦鎳記憶合金、混合稀土分量、貴金屬飾品和合金等，以及各種形態樣品的無標半定量分析，對于均勻的顆粒度較小的粉末或合金，結果接近于定量分析的準確度。可用于一般樣品(液體、固體)中的穩態熒光測量和瞬態熒光測量，如高分子和天然分子自然熒光的研究，液體中大分子分子運動的研究，固體高分子取向的研究，高聚物光降解和光穩定性的研究，光敏化過程的研究。
顯微熒光光譜儀(XRF)由激發源(X射線管)和探測系統構成。X射線管產生入射X射線(一次X射線)，激發被測樣品。受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。
顯微熒光光譜儀一般由光源、單色器、樣品池、檢測系統、讀數裝置等部件組成。光源激發被測物，單色器分離出所需要的單色光，檢測系統把熒光信號轉換為電信號。從光源發出的光照射到盛有熒光物質的樣品池上，產生熒光。熒光向四面八方發射，為了消除透射光的干擾，通常在與激發光傳播方向成90°的方向上測量熒光。樣品池常為矩形，在矩形池中以90°的位置進行測量可使入射光及被測熒光物質垂直通過樣品池壁，從而減少池壁列熒光的反射。
顯微熒光光譜儀根據各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。近年來，熒光光譜分析在各行業應用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域。大多數分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點。
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