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真空熱處理爐的真空系統，必須滿足下述三個基本要求。
1，能迅速將真空熱處理爐抽至所要求的極限真空度。
2，應能及時地排出被處理工件和爐內結構件連續放出的氣體，以及因真空泄露而滲入爐內的氣體。
3，使用操作、安裝、維修保養要簡便，整個系統占地面積要小。
真空熱處理是真空技術與熱處理技術相結合的新型熱處理技術，真空熱處理所處的真空環境指的是低于一個大氣壓的氣氛環境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實際也屬于氣氛控制熱處理。真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下進行的，熱處理質量大大提高。與常規熱處理相比，真空熱處理的同時，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。
真空系統的組成：
真空熱處理爐的真空系統，一般由真空泵、真空閥門、真空測量儀表、冷阱、管道等部分組成，下面介紹幾種常見的真空系統。
1，低真空系統，適用于真空度在2-1333Pa范圍的真空熱處理爐，如遇抽井式真空爐多采用這個系統,
2，具有機械增壓泵的真空系統，適用于真空度在1.33-3×10的負1Pa范圍的真空熱處理爐，真空淬火爐廣泛采用此系統。
3，高真空系統及帶有增壓泵的高真空系統，適用于真空度在1.3×10的負-2至6.6×10的負4Pa范圍的真空熱處理爐，真空退火爐、真空釬焊爐多采用此系統。
真空系統的選用：
根據真空熱處理爐的使用技術條件和所要求的真空度，選擇適合的真空泵。再根據真空泵的類型、規格選配相應的真空閥門、真空管道等，從而組成所需要的真空系統。一般被抽容積與真空泵的抽氣速度有一定的關系，當確定真空熱處理爐的容積后，便可查出相應的抽氣速率，再由此選用真空泵。
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