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光學測量顯微鏡是一種基礎的精密光學測量儀器。采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。工作臺除作X、Y坐標的移動外，還可以作360度的旋轉，是一種理想的固定場所小型精密測量儀器。
光學測量顯微鏡的測量步驟如下：
1、工作距調整:可根據被測物體的厚度，擰松支柱套上的固緊手輪，按需要升降支架，合適后固緊手輪，并檢將輔助支承座緊座緊靠支柱套后固緊。
2、目距調整:用雙手稍扳動左右普柔棱鏡座來改變目距，以適于雙眼觀察。
3、焦距調整:轉動升降手輪，使儀器頭部上下移動。當觀察物像出現后，輕微轉動，直到右眼的像較清晰為止。
4、視度調節:旋轉左目鏡上的視度調節圈，使左眼的像與右眼的像同樣清晰。
倍率的調整:本儀器設計有二種不同的倍數，轉換變倍輪以改變倍數。
5、測量:
(1)用X軸( 或Y軸)對準被測物邊緣，使X軸(或Y軸)與被告測物的外邊緣相外切;
(2)記錄測微頭的數據;
(3)移動X軸(或Y軸)與被測物內邊緣相內切，這時再記錄測微頭的數據，將移動后的數據減移動前的數據即是我們所測的數。
該設備主要運用于錄像磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。可廣泛用于電子行業和細小精密零件檢測、裝配、修理；印刷線路板，印刷絲網板的檢定，還可以用于生物解剖和珠寶鑒定等。
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