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鎢燈絲掃描電鏡總發射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結構分析、斷口形貌分析，在材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫學等領域都有廣泛的用途。
鎢燈絲掃描電鏡燈絲的維護保養措施有哪些？
1.準確對中燈絲
安裝、更換新燈絲時仍需檢查燈絲的對中情況，最好將安裝好的燈絲組件放在解剖鏡下再檢查一下，看燈絲是否居中，否則很容易導致燈絲亮度偏暗，而由此操作者又會增加偏壓或電流來提高亮度，損傷燈絲。
2.適當增加燈絲高度
燈絲工作時發射電子束，燈絲的發射束流與燈絲的加熱電流和燈絲高度有關, 燈絲高度越大, 則燈絲達飽和點的工作溫度就越低，燈絲表面蒸發得也越慢。因此在保證理論高度的條件下, 我們可以將燈絲高度適當增加。新型掃描電鏡一般配有幾個可選燈絲墊片，其型號不一樣，厚薄也不一樣。在滿足觀察要求的情況下，我們可以選擇厚一點的墊片以增加燈絲高度，減少燈絲飽和電流。
3.及時手動調整燈絲電流
在掃描電鏡使用過程中，應經常觀察燈絲的飽和程度，當發現燈絲電流不在飽和狀態時，適當手動調整燈絲電流，使燈絲處于飽和狀態。另外新型掃描電鏡電子槍的調整一般分全自動調整和半自動調整，我們一般應選擇半自動調整。否則，當自動調整電子槍時，燈絲電流也將一起調整且長時間處于過大電流，極大地消耗燈絲，嚴重影響燈絲壽命。
4.保持鏡筒的高真空度
隨時注意鏡筒是否存在微小泄露，同時保證各級泵的性能，必要時要更換泵油。再有就是待觀察樣品應盡量干燥、無揮發性物質。
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