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一、機組技術參數
1、機組輸入電壓：220V/380V
2、波紋管：KF40*1000mm
3、真空擋板閥：KF40
4、機箱尺寸：600*600*600mm
二、擴散泵技術參數
擴散泵型號 | TK150 |
入口直徑 | 150mm |
抽氣速率L/S（對空氣） | 1000L |
建議啟動壓強 | ＜10 Pa |
極限壓強（Pa） | 7×10-5 |
排氣口法蘭 | KF40 |
功率 | 1.2KW |
輸入電壓頻率（V/Hz） | 220V |
環境溫度（℃） | 0～40 |
前級泵型號 | FX-16 |
冷卻方式 | 水冷 |
冷卻水溫度（℃） | <25 |
安裝方式 | 垂直 |
注油量 | 0.3L |
重量（公斤） | 40 |
產品型號 | FFX-16 |
三、真空泵參數
擴散泵泵前級真空泵FFX-16 (擴散泵必須要配此前級泵)
功率 | 0.75KW |
電壓 | 380V |
轉速 | 1450rpm |
進氣口徑 | KF25/KF40 |
前機泵抽氣速率（L/S） | 4 |
極限壓強 | 4X10 -2Pa |
四、復合真空計技術參數
復合真空計型號 | ZDF |
電源 | 220V 55W |
控制精度 | ± 1% |
真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa |
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