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近紅外光譜儀采用全新的MEMS技術，將光譜儀的光路刻在波導上，使產品在惡劣環境下也能保持良好的性能。同時，這種單芯片設計不僅可以保持平臺間差異，而且在大規模量產時也可以大大降低產品成本。采用線性CCD探測器，量子效率高；可編程增益放大和高速16位AD轉換具有很大的動態范圍。適用于光譜測量與分析、光譜反射率檢測、光譜透射率測量、光譜熒光檢測等多種光譜測量。其波段為紫外可見（200-850nm）或可見近紅外（400-1100nm），也可根據自身需要定制。常見的光源包括鹵鎢燈、發光二極管和激光二極管。
光譜系統是近紅外光譜儀的核心裝置，它的作用是將復合光轉化為單色光。主要光譜類型有濾光片、光柵、干涉儀和聲光可調濾光片，分別對應濾光紅外光譜儀、色散紅外光譜儀、傅里葉變換紅外光譜儀和聲光濾光紅外光譜儀。
1、濾光式紅外光譜儀
濾光型紅外光譜儀使用干涉濾光片進行分光。通過在轉盤上固定不同的濾光片，可以測量樣品在多個波長的紅外光譜數據。目前過濾器技術的發展受到限制，目前的技術水平只能開發過濾器。
2、色散紅外光譜儀
色散紅外光譜儀又稱光柵掃描紅外光譜儀。它使用棱鏡或光柵作為分光。這種儀器的特點是全光譜掃描和高分辨率。
3、傅里葉變換紅外光譜儀
近紅外光譜儀光源發出的光被準直成平行光，以45°角入射到分束器上。一半的光被分束器反射并導向固定鏡m2，另一半光通過分束器導向移動鏡M1。射向定鏡和動鏡的光經過反射后實際上會聚在一起。這時就變成了具有干涉光特性的相干光。當動鏡移動時，可以獲得不同光程差的干涉光強度。對于純單色光，在動鏡的連續運動中會得到強度不斷變化的余弦干涉波，因此探測器檢測到的是樣品的干涉圖，可以得到分析光中所有波長的信息每次。最后，將樣品經過傅里葉變換后的干涉圖函數與空白光源強度頻率分布的比值即可得到樣品的紅外光譜。
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